产品功能

预清洁、优化工件表面，增加膜层附着力，增强多层镀膜能力，改善膜层聚密度，改善膜层光学特性。

1、离子源灯丝采用交流供电，电流均衡，功率密度大。

2、设有软启动功能，防止冲击源头，延长产品使用寿命。

3、设有短路和过流保护，工作安全可靠。不怕人为误操作或源头原因造成的长时间短路问题。

4、可以增加特色功能，如外控、阀控、定时等。

5、电源功率充足，灯丝电压/电流可达30V/30A，阳极电压/电流可达220V、10A.并长期稳定的工作。

产品应用领域

金雅克系列离子源产品能输入高电流但能量低的离子束，是表面处理及薄膜电镀工艺的理想工具。其使用范围包括:

1、离子束辅助镀膜。

2、基板材料预清洁及表面处理。

3、超硬碳质镀膜。

4、增加薄膜附着力和密度，及温差和温度的稳定性

5、改善薄膜的折射指数、散射、吸光率等参数。

6、降低镀膜工艺温度要求。

产品优点

1、高输出离子束电流，能提高镀膜速率，

2、经优化的离子束输出能量能减低基板表面受高能离子轰击而损坏的情况，使产品合格率得以提高。

3、宽广的离子東射出角度能覆盖更大的镀膜面积，用户能增加每炉基板数目，提高生产效率。

4、坚固及模块化的结构能降低维修成本及停机时间。

5、经广泛使用验证的直电流源令操作更简便，维护保养更方便。

6、紧凑的外型设计，能令用户更方便地升级现有系统。

7、与自动化系统连接更便利。

8、体积细小，安装容易，备有灯丝阴极和空心阴极两种形式，适用于不同镀膜工艺