应用范围
离子源口径:中17cm
可调仰角:±20°(基座自带刻度指针)
离子東能量:100-1000eV连续可调
最大离子束流:500mA
束能量均匀区:2中900mm(距源出口900mm处)
束能量不均匀性:≤±10%(距源出口900mm处)
工作气体:氬气(Ar)、氧气(0)
工作气压参考范围:0.5-2.0x10-2Pa(推荐0.8-1.5x10-2Pa)
安装方式:内装
尺寸:251mmx309.5mm
