产品特点
1、优化参数后，可获得能量单一的离子束
2、离子束流及离子能量连续精确可调
3、离子能量可调节范围广、应用范围广
4、相比等离子体源及无栅离子源，可获得更高的离子量
5、通过不同栅网的选择，可获得准直或大面积发散离束
